Содержание документа: ГОСТ Р 8.631-2007. ГСИ. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки.

1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом "Научн...

2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации Т...

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федеральн...

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

1 Область применения

2 Нормативные ссылки

3 Термины и определения

3.2 рельеф поверхности (твердого тела): Поверхност...

3.3 элемент рельефа (поверхности): Пространственно...

3.9 пиксель: Наименьший дискретный элемент изображ...

3.10 изображение на экране монитора микроскопа (ви...

3.11 видеопрофиль информативного сигнала (видеопро...

3.12 масштабный коэффициент (видеоизображения РЭМ)...

3.13 рельефная мера: Средство измерений длины, пре...

3.14 рельефная мера нанометрового диапазона: Мера,...

3.15 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Эле...

3.16 геометрическая форма элемента рельефа: Геомет...

3.17 электронным зонд (РЭМ): Сфокусированный на по...

3.18 низковольтный растровый электронный микроскоп...

3.19 высоковольтный растровый электронный микроско...

3.20 сканирование (РЭМ элемента исследуемого объек...

3.21 медленные вторичные электроны; МВЭ: Группа вт...

3.22 эффективный диаметр электронного зонда: Значе...

4 Операции и средства поверки

4.1 При проведении первичной и периодических повер...

4.2 Допускается применять другие средства поверки,...

5 Требования к квалификации поверителей

6 Требования безопасности

7 Условия поверки и подготовка к ней

7.1 При проведении поверки микроскопа должны быть ...

7.2 Помещение (зона), где размещен микроскоп и сре...

7.3 Подготовка к поверке РЭМ проводят следующим об...

7.4 Выполняют операции, необходимые для подготовки...

8 Проведение поверки

8.1 Внешний осмотр

8.2 Опробование

8.3 Определение метрологических характеристик

8.4 Оформление протокола поверки

9 Обработка результатов измерений

9.1 Вычисление координат контрольных точек на виде...

9.2 Вычисление значений вспомогательных отрезков

9.3 Вычисление масштабного коэффициента видеоизобр...

9.4 Вычисление эффективного диаметра электронного ...

9.5 Погрешность измерений

10 Оформление результатов поверки

10.1 Результаты поверки оформляют и виде свидетель...

10.2 На оборотной стороне свидетельства о поверке ...