Содержание документа: ГОСТ Р 8.636-2007 ГСИ. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки.

1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом "Научн...
2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации Т...
3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федеральн...
4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
3.2 рельеф поверхности твердого тела (рельеф повер...
3.3 элемент рельефа поверхности (элемент рельефа):...
3.8 пиксель: Наименьший дискретный элемент изображ...
3.9 изображение на экране монитора РЭМ (видеоизобр...
3.10 видеопрофиль информативного сигнала (видеопро...
3.11 масштабный коэффициент видеоизображения РЭМ (...
3.12 рельефная мера: Средство измерений длины, пре...
3.13 рельефная мера нанометрового диапазона: Мера,...
3.14 элемент рельефа в форме выступа (выступ): Эле...
3.15 геометрическая форма элемента рельефа: Геомет...
3.16 электронный зонд РЭМ (электронный зонд): Сфок...
3.17 низковольтный растровый электронный микроскоп...
3.18 высоковольтный растровый электронный микроско...
3.19 сканирование РЭМ элемента исследуемого объект...
3.20 медленные вторичные электроны; МВЭ: Группа вт...
3.21 эффективный диаметр электронного зонда: Значе...
4 Технические требования
4.1 Требования к неопределенностям измерений парам...
4.2 Требования к средству калибровки
4.3 Требования к условиям проведения калибровки
5 Требования к квалификации калибровщиков
6 Требования по обеспечению безопасности
7 Подготовка к процедуре калибровки
7.1 Подготовку к процедуре калибровки РЭМ проводят...
7.2 Выполняют операции, необходимые для подготовки...
7.3 Устанавливают рельефную меру на рабочий стол Р...
7.4 В соответствии с инструкцией по эксплуатации Р...
7.5 При значениях электронно-оптического увеличени...
7.6 Постепенно повышают электронно-оптическое увел...
7.7 Проверяют установку рельефной меры на рабочем ...
7.8 Если после проверки по 7.7 не получены положит...
7.9 Настраивают видеоконтрольное устройство РЭМ та...
8 Процедура проведения измерений
8.1 В соответствии с инструкцией по эксплуатации Р...
8.2 Результаты измерений параметров рельефной меры...
9 Обработка результатов измерений
9.1 Вычисление координат контрольных точек на виде...
9.2 Вычисление значений вспомогательных отрезков
9.3 Вычисление масштабного коэффициента видеоизобр...
9.4 Вычисление эффективного диаметра электронного ...
10 Оценка неопределенности измерений параметров
10.1 Суммарную стандартную неопределенность , нм/...
10.2 Суммарную стандартную неопределенность , нм,...
11 Оформление результатов калибровки
11.1 Результаты калибровки оформляют в виде сертиф...
11.2 В сертификате о калибровке и в паспорте (форм...